MPC/CMQ注意事项

MPC/CMQ注意事项

MPC/CMQ特点：

  本气体质量流量控制器使用日本山武自身研发的气体质量传感器，响应快，高精度，功耗少，但因传感器部分直接与气体介质接触，若气体洁净度不够则很容易损坏，从而在使用CMQ前应考虑以下相关问题。

一、粉尘处理。

在MPC/CMQ上游使用100微米或更小的除去异物的过滤器、整流器，且注意定时检查更换。

二、硫化物处理。

我过西部普遍使用管道气，含硫成分相对较高，应在管道前端加除硫器降低对管道的腐蚀。

三、逆火处理。

请尽量保持气体流速，防止逆火情况发生。在变更设定值SP的时候，尽量使用  SLOW START  的功能。

四、结露处理。

一般使用加热丝把管道内部加热到55-60摄氏度左右，贵公司可根据自己的实际情况设计干燥工艺。

五、特殊介质处理。

针对特殊的气体介质，应采取相应的措施。比如氧气，在管道前部应采用禁油处理。

   MPC/CMQ系列气体质量流量控制器的的特殊构造（传感器与气体介质直接接触）要求我们在使用过程中不要让任何异物流入CMQ内，要避免引起控制失误和损坏传感器，比如安装管道内的锈、水滴、油滴、灰尘等都是引起控制失误和损坏传感器的因素。

此外，MPC/CMQ的的安装调试过程应该按照操作手册：  NP.CP-SP-1112C  严格执行。

以下为某公司使用CMQ管道流程：